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ULVAC(アルバック機工)

ダイアフラム型ドライ真空ポンプ(DAU)

ダイアフラム型ドライ真空ポンプ(DAU)
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特長|接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。 到達圧力性能を向上させた、ドライ真空ポンプの高真空タイプ。 ターボ分子ポンプの補助ポンプに使用可能。 自動復帰型サーマルプロテクター内蔵による安全設計。 大気圧から作動が可能。シンプル構造で、メンテナンスが容易。

排気速度(50/60Hz)(L/min)
20/23
最大寸法(幅W×長さL×高さH)(mm)
161×327×217
周波数(Hz)
50/60
質量(kg)
7.5
使用可能雰囲気温度(℃)
5〜40
タイプ
高真空タイプ
排気方式
3段
仕様
サーマルプロテクター内蔵
電源コード
有(プラグ付)
スイッチ
使用電動機
単相,100V,80W,4P,コンデンサ運転
口径(Φmm)
O.D.Φ10×I.D.Φ6 (Rc 1/8)
全負荷電流(A)
1.46
 
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